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  • 量产片厚
    160um降低至130um
  • 量产线径
    40线降低至34线
  • 硅片尺寸
    182、210
  • 工艺时间
    缩短至90min
  • 行业领先
    良率、产量、成本
    显著提升
  • 产业联合
    推进硅片
    “大尺寸、薄片化”进程